中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364577 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造用フォトレジスト機器です。このシステムは、直径450mmまでの基板を加工するように設計されており、最大数ミクロンの厚さで基板にフォトレジスト層を露出することができます。TEL MARK8ユニットは、フォトマスク露光プロセスが正確で再現性に優れていることを保証する多種多様な機能を備えています。このマシンは、最大1kVの超高解像度を提供する画像投影ツールによって駆動され、精密光学アセット設計を使用して最大2 mJ/cm2の画像解像度を生成します。さらに、オートアラインなどの高度なプロセスオートメーション技術を採用し、基板を自動的に整列させて高精度かつ再現性を実現するとともに、露出パラメータを自動調整して最適なプロセス条件を実現します。また、アプリケーションプログラムの監視、露出条件、マスクアライメント、その他のパラメータなど、さまざまな診断を実行する高度なコンピュータシステムを備えています。これにより、オペレータは問題をトラブルシューティングし、安定したフォトレジストプロセスを確保できます。東京電子MARK-8フォトレジストユニットは、使用時の安全性を確保するため、空中パーティクルセンシングや画像投影機の保護カバーなど、数多くの安全機能を備えた設計となっています。さらに、このツールにはさまざまな保護機能が装備されており、潜在的な露光関連のエラーを検出し、エラーが発生した場合に直ちに電源を切断することができます。最後に、このアセットは使いやすく、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと包括的なドキュメントで操作のガイダンスを提供するように設計されています。このモデルには、最適なプロセス条件を確保するために事前にプログラムされた設定のライブラリも用意されています。全体として、MARK-8は、高精度、再現性、安全機能、簡単な操作、および事前プログラムされた設定のために、半導体デバイス製造に使用するための完璧なフォトレジスト機器です。