中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364572 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、有名な半導体装置メーカー、TELの最新世代フォトリソグラフィーシステムです。TEL MARK8フォトレジストシステムは、その種類の最先端のユニットであり、様々な基板上の複雑で複雑なパターンの精密パターニングを可能にします。東京電子MARK-8機は、精密光学の最新技術、高度な化学加工技術、高性能ロボットオートメーションを組み合わせ、比類のない精度、スピード、再現性を実現しています。高出力の照明ツールとフォトマスクとウエハスタッカーの自動処理により、TEL MARK-8アセットは、最も複雑なパターンでも最大限の精度で素早く移動、集中、露出することができます。TOKYO ELECTRON MARK8モデルには、高度なマルチスポットオーバーレイ装置が搭載されており、パターンの精度を問わず、1回の露光で大きなパターンを生成することができます。これにより、広い領域で複雑なパターンを迅速に露出させることができ、コンポーネントのスループットを高めることができます。さらに、高精度のレーザーエッチングフォトマスクを使用し、正確な結果を得るために鮮明に定義されたパターンを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8ユニットには、汚染、位相分離、レジストパターン歪み、フォトレジスト処理時に発生するエッチング誤差を最小限に抑える完全自動化された高性能ウェット化学加工機があります。湿った化学ツールはまた、50 nmから数百ミクロンまでの寸法の堆積を可能にします。マーク8フォトレジスト資産は、Positive、 Negative、 semi-Positiveなど、さまざまなレジスト材料とも互換性があります。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8モデルは、温度、圧力、速度、時間などの重要なパラメータをインテリジェントにバランスさせ、フォトレジストの各バッチの一貫性と再現性を確保します。これにより、指定されたパターンと適切なエッチング深度に整合した表面の質感と収縮抵抗を得ることができます。TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト機器は、あらゆるリソグラフィ作業において効率的かつ強力なソリューションです。システムの柔軟性、精度、再現性により、比類のないレベルの精度が得られ、推測やミスの余地はありません。これらの機能を組み合わせることで、MARK8ユニットはあらゆる組織のリソグラフィのニーズに対応する信頼性の高い作業場となります。