中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9351474 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、薄型ウェーハデバイスをサブミクロン単位で製造する最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、高度で精密なイメージングオプティクスを備えており、デバイスの集中した明確なイメージを生成し、一貫した正確でクリーンなフォトリソグラフィーアライメントを可能にします。さらに、TEL MARK8のサブワン波長法は、サブミクロン範囲の幅広いデバイスで複雑なパターンを生成することができます。東京電子MARK-8には、ソース入力、光プロジェクションユニット、レジストコーティング機構の3つの主要コンポーネントがあります。ソース入力は、さまざまなレーザーソースと互換性があり、計算上の露出プロファイルの範囲を可能にします。光学投影機は、ツールの中心であり、UV光源、プログラム可能な光学スキャナ、およびイメージング目的で構成されています。UVビームのタイミングと方向を制御することで、サブミクロンのフィーチャーサイズで高精度な画像を生成することができます。このモデルのレジストコーティング機構は、フォトレジストを非常に精密なレベルでウェーハに分配します。この精度のおかげで、レジストレイヤーはデバイス全体で一貫しています。TOKYO ELECTRON MARK8はまた、いくつかの先進的な技術的特徴を備えています。例えば、レーザースキャンおよび露出装置は、薄膜デバイスに最適なリアルタイム露出スキャンが可能です。リソグラフィと露光処理を同時に行うことができ、スループットが向上します。さらに、このシステムは表面欠陥やエッジの損傷を迅速かつ正確に分析し、破損した領域を事前に除去することで後処理コストを削減することができます。要するに、TEL Mark 8は、精密レーザースキャンで精密なデバイスを製造できる高度なフォトレジストユニットです。プログラマブルイメージングオプティクス、サブワン波長法、リアルタイム露出スキャンなどの追加機能を通じて、このフォトレジストマシンは高精度でスループットの高い多機能リソグラフィーアライメントと耐性コーティング操作が可能です。