中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314983 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、高品質の集積回路を確実に設計、開発、製造する業界トップクラスのシステムです。その革新的で汎用性の高い機能により、セットアップ、サイクルタイム、コストを最小限に抑えながら、複雑で複雑な設計を最小限に抑えることができます。TEL MARK8は、ピロメーターと冷却プレートを内蔵し、500°Cから1000°Cの温度に達する加熱チャンバーを備えています。また、Vacuum-UV偏光光学システムを搭載しており、リソグラフィープロジェクターの偏光および集光機能を最適化します。これにより、可能な限り正確なイメージングが実現されます。さらに、このユニットは、ユーザーフレンドリーな調整可能で反復可能なプロセスパラメータを提供することで繁栄しています。これにより、長時間にわたる最適かつ一貫したリソグラフィープロセスが可能になります。また、東京エレクトロンMARK-8には、チャンバー内に保持されているレジストの量を監視および制御するキャパシティドレイン（CD）モジュールが搭載されており、一貫した再現性のある結果を得ることができます。さらに、Photo Asher （PA）モジュールは、露出したレジストを早期に除去し、より酸化のないエッチング処理を可能にします。Mark 8のVIS （Visual Inspection Machine）は、プロセスの最適化のためにリソグラフィ結果を厳密に監視します。ウェーハ表面から残留物を検出して除去するだけでなく、エッチング前にパターンの完全性を検証するために使用できます。このツールのTAS （Total Automation Asset）により、さまざまなタスクを自動化でき、ユーザーはより高いスループットと品質を達成できます。リソグラフィ結果を検査し、プロセスを最適化するための傾向を特定するためのデータ駆動操作をサポートしています。最後に、MARK8のイメージセンサモデルは、迅速かつ正確なデータ分析を提供し、ユーザーが高精度のリソグラフィを保証するために機器の状態を最適化して微調整することができるように設計されています。MARK-8フォトレジストシステムは、一貫した、費用対効果の高い、正確なリソグラフィのための強力で効率的なツールです。高度な機能により、ユーザーはセットアップ費用とサイクルタイムを最小限に抑えた複雑なデザインを開発できます。