中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314262 を販売中
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ID: 9314262
ウェーハサイズ: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
ADH
(8) HP
(3) COL
Inline
Interface.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体回路ボード用フォトレジスト装置です。ウエハやIC上の超薄型回路の製造や、マスキングやリソグラフィープロセスに使用されます。このシステムは、高精度の登録だけでなく、信頼性の高い正確な解像度を提供するように設計されています。このユニットは、高出力のUVソース、ビームジオメトリマシン、投影ポイントを組み合わせて、ウェーハ上の高度なレイヤーパターンを正確に均一に生成します。このツールは、マスクまたはリソグラフィパターンの形で明確に定義された画像を生成することができます。アセットには、定時、定電流、その他のさまざまな制御モードを提供するように設計されたコントローラも含まれています。コントローラは、キャリブレーション、プレラスター制御、追加のパターン形成パラメータなど、モデルのさまざまな側面を格納および制御するためにも使用できます。この機器は、さまざまなセンサーやその他のデバイスに接続され、幅広い機能を提供します。たとえば、各レイヤーのフォーカスとアライメントを測定するために使用でき、各レイヤーのレジストプロファイルを検出するために使用することもできます。さらに、後でレビューするためにウェーハ表面のプロファイルを記録するために使用することができます。TEL MARK8は、幅広いフォトレジストをサポートするように設計されており、熱ビームやイオンビーム処理などの様々な治療に適しています。また、エッチング、成膜、アニールなどの後加工も可能です。このシステムは、優れたスループットと精度を提供するように設計されており、ハイエンド半導体製品に最適です。このユニットは、操作とメンテナンスが容易に行えるように設計されており、既存のさまざまなツールや機器と互換性があります。TOKYO ELECTRON MARK-8フォトレジストマシンは、ウェーハやICの超薄型回路の製造プロセスを簡素化し、精密な解像度、高スループット、優れた信頼性を提供するように設計されています。ハイエンド半導体製品に最適です。
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