中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314258 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 PhotoResistは、フォトリソグラフィの生産において究極の精度と精度を提供する高度なイメージングシステムです。このユニットは、高性能な半導体およびフラットパネルディスプレイ用途の開発に最適です。この機械は、真空チャンバーの上に取り付けられた高精度の光学ユニットで、RGBレーザー源、CCDイメージングツール、およびサンプルローディングおよびイメージング用のモーションステージを備えています。この精密機器の組み合わせにより、TEL MARK8は最大解像度15nmに到達することができ、フォトリソグラフィにおいて比類のないレベルの透明性を提供します。この光学系はレーザービームのプロファイルを正確に制御するように設計されており、選択した波長でほぼ平行な光を生成します。ビーム角度は、最適な焦点とウェーハへの画像の効率的な転送を確保するために調整可能です。CCDイメージングアセットは、最大解像度15nmの1。2倍の解像度でサンプルの画像をキャプチャするように設計されており、フォトリソグラフィーシステムではこれまでにないレベルの詳細を提供します。モーションステージは、レーザーに関してサンプルの傾きと回転の両方を制御することができ、画像をウェーハに完全に転送することができます。また、TOKYO ELECTRON MARK-8は、複数のパスイメージを生成することができ、異なるパルスの光で画像を作成することができます。これにより、1つのパルスで複雑なパターンを作成したり、インターリーブされた画像を作成してカバレッジを増やすなど、操作を柔軟に切り替えることができます。さらに、エッチングやデペイントなどの操作も可能で、二重層露光や特殊黄色光露光などのユニークな露出パターンも対応可能です。東京エレクトロンマーク8は、精密光学、高度なイメージング技術、高い性能を兼ね備えており、半導体・フラットパネルディスプレイ業界のフォトリソグラフィーに最適なソリューションです。この装置は、画像に高いレベルの明瞭さとディテールを提供することができ、他のイメージングシステムに比類のない正確な生産と結果を得ることができます。