中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314251 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、フォトレジストの開発とパターニングのための完全統合システムです。業界トップクラスの精度と再現性を備え、アスペクト比の高い繊細な構造でもパターンを作成できます。このユニットは、最先端のハードウェアとソフトウェアコンポーネントを組み合わせて、パターン化されたフォトレジスト処理の包括的なソリューションを提供します。TEL MARK8は、高精度リニアドライブと高解像度デジタル顕微鏡を備えた電動ステージを使用し、フォトレジスト材料の正確な位置決めと操作を可能にします。この段階では、パターンや動きを正確に繰り返してスループットを高めることができます。ステージは制御ソフトウェアを介してコンピュータ制御され、プロセスパラメータのセットアップと分析が簡素化されます。また、精密紫外線（UV）照射や光学系による感光材料のパターニングも可能です。TOKYO ELECTRON MARK-8は、被曝線量を制御するための電動減衰器を備えた多波長ライトエンジンを搭載しています。ライトエンジンには、露出フィールドを狭くするための調整可能なコリメータとバーストモード露出用のシャッターもあります。TEL Mark 8には、露出や光学パラメータを制御するためのソフトウェア、標準的な可視化、アルゴリズム、グラフィックス、解析ツールを含む統合ソフトウェアパッケージがあります。フル機能のジョブプランニング、レシピ編集、データ管理も含まれています。ソフトウェアは、ユーザーの生産と研究のニーズに合わせて設計されています。TEL MARK-8ツールは、レジスト、アクリレート、その他の感光性ポリマーなどの感光性材料に使用するために設計されています。また、スピン、スプレー、エアロゾルコーティングなどのさまざまなパターニング技術と互換性があり、正と負のパターニングの両方に使用できます。この資産は、プロセス制御、精度、品質、速度に重点を置いて開発されています。これにより、ユーザーはより短い時間でより良い結果を達成することができます。これらの要素はすべて、ナノスケールでも正確かつ再現可能なパターンを生成できる高度なフォトレジストモデルを形成します。マーク8フォトレジスト装置は、さまざまな業界の研究および生産パターニング用途に理想的なソリューションを提供します。