中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9305864 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、高解像度、高精度フォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器です。サブミクロン分解能、高度なフォトマスクアライメントシステム、露光範囲の拡張など、複雑な集積回路の効率的な生産を可能にする強力な機能の組み合わせを提供します。このユニットは、最先端のレジスト材料とプロセスを使用して正確な機能定義を保証し、焼成済みのフォトマスク技術は高性能のレジストを保証します。フルフィールドスキャニングマシンは正確なアライメントと正確な光学露光を保証しますが、拡張ダイナミックレンジ（EDR）機能は優れた画像忠実性を提供します。TEL MARK8は、高度なステッピングツールを使用して正確なフィーチャー定義を行い、サブミクロンのフィーチャーを正確に配置するための超精密アンカーポイント配置機能を備えています。このアセットには、正確なアライメントとレンズのフォーカスのためのオートフォーカスモデルも含まれています。さらに、レンズの性能とプロファイル調整を測定するためのツールと技術、レジストプロファイルの特性やその他のパラメータの制御を備えています。システムハードウェアには、ウエハにレジストを供給するレジストデリバリーユニットと、アライメントを制御して露出に抵抗するスキャンコントロールユニットがあり、正確な機能制御が可能です。高精細光モジュールには、12極ミラー機、およびデュアルロッドスフェリックヒーター、紫外線トランスミッター、レーザスポットモニター、およびイメージビューアが含まれています。統合されたプロトコルジェネレータにより、フォトリソグラフィープロセスで使用されるパラメータを完全に制御およびカスタマイズでき、アプリケーションソフトウェアは強力なデータ分析機能を提供します。また、東京エレクトロンMARK-8では、ブライトフィールドイメージング、走査型電子顕微鏡（SEM）、反射画像解析、可変角光散乱など、様々なモードでの精密測定も行っています。これらの計測技術はすべてリアルタイムで提供され、最も厳しい生産設計に適したアーキテクチャとスループットレベルでサポートされています。全体的MARK-8、フォトリソグラフィーツールは、優れた性能と正確な機能解像度を提供する強力で汎用性と信頼性の高いマシンです。最先端のフォトマスク技術のすべてをサポートし、ダイナミックレンジを拡張し、密接にパターン化された回路と大量生産に最適です。