中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280945 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、リソグラフィ工程で使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストと呼ばれる光に敏感な樹脂を半導体回路を作るシリコンウエハなどの基板に塗布するように設計されています。TEL MARK8フォトレジストシステムは、コンピュータ制御の精密自動化ユニットを使用して、フォトレジストの均一な薄膜層をウェーハに適用します。基板を円運動で正確に配置する高精度ステッピングモータを搭載しています。正確な動きにより、フォトレジストの重複を防ぎ、基板全体で一貫した厚さの結果を保証します。フォトレジストはスプレーヘッドで塗布します。ステッピングモーターからの圧力はノズルを通してフォトレジストの低圧の容積を押し、基板上に均等に分布する液滴を形成します。統合された自動洗浄ツールは、使用の間にノズル上のフォトレジストの蓄積を低減し、汚染を防ぎます。フォトレジスト層は、目的の半導体回路を作成するために特別に設計されたUVマスクにさらされています。この露出は、露出したフォトレジストに化学反応を起こし、元の層の溶解度を変化させます。レイヤーは露出後のベーク（PEB）を通して配置されます。このステップからの熱で、高溶解性の残りの露出フォトレジストは特別な開発者の溶液に溶解し、露出していないフォトレジストによって形成された硬化パターンを残します。TOKYO ELECTRON MARK-8は、極めて精密な結果を出すことができ、50ナノメートルの小型の複雑な特徴を作り出すことができ、デバイス製造に適しています。自動クリーニングアセットにより、オペレータのメンテナンスが削減され、製品の一貫性が向上します。MARK-8フォトレジストモデルは、半導体デバイスの製造において非常に貴重なツールです。