中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280944 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、ウェーハ上に非常に高解像度のパターンを生成することができ、非常に微細な電子構造を製造することができます。このユニットは、電子ビームを使用して、ウェーハ上の敏感なフィルムコーティングを光線に露出させます。このフィルムは、最も一般的にポリメチルメタクリレート、アモルファス二酸化ケイ素、およびその他の活性分離材料で構成されるフォトレジストで構成されています。電子ビームはレジストと相互作用し、その特性を変化させます。その結果、ウェーハ上のレジスト層にパターンが形成され、トランジスタなどの電子デバイスを構築するために使用することができます。露光プロセスは、電子のビームが生成される真空チャンバーから始まります。ビームは列の機械を通過し、ビームをウェハの厚さに集中して制御することができます。これは、真空圧力、電子エネルギーレベル、およびビームを操縦するのに役立つアーク電圧を制御することによって行われます。露出プロセスは、露出の進行を監視し、調整する電子制御ユニットによって調整されます。このツールを使用すると、露出エネルギーレベル、ブロッキングハイト、ウェーハ温度などの変数を入力することができます。アセットにはウエハハンドリングユニットが装備されており、基板のモデルへの積み下ろしを自動化します。これにより、手作業による取り扱いが不要となり、損傷、汚染、誤配置の可能性が低減されます。装置全体が自動化されているため、別途必要な場合を除き、露出プロセス中にユーザーが存在する必要はありません。最後に、このシステムは露出結果をプロファイリング、保存、要約することができます。これにより、ユーザーは所定の仕様への適合性を検証することができ、回路プロファイルの精度が向上します。全体として、TEL MARK8は高度なフォトレジストユニットであり、さまざまな用途で高品質で正確な回路パターンを作成する信頼性と強力な手段をユーザーに提供します。