中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9276274 を販売中

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TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
販売された
ID: 9276274
(2) Coater / (2) Developer system, 8" Single block Chemical cabinet KOMATSU T&H Controller Adhesion Process Station (ADH) (2) Chill Plates (CPL) (4) Low Temperature Hot plates (LHP) with hi-exhaust (6) High Temperature Hot plates (HHP) AC Power box Temperature control External chemical cabinet 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8は、先進的な半導体製造プロセス向けに設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、プロセス全体のパフォーマンスを向上させるために設計されたさまざまな機能を提供します。19インチの640x480 TFTカラーモニターと内蔵のWindows NTオペレーティングユニットを備えています。ウェーハアライメント、基板マッピング、フォトレジストスピンコーティングなど、複数のプロセスをホスティングできます。TEL MARK8には、堆積基板構造の臨界寸法を正確に測定できる高度なフォトレジストセンサが搭載されています。また、レイヤーバイレイヤー制御の露出時間を調整し、パターン欠陥の発生を低減する統合マシンを提供します。さらに、自動液体分注ツールにより、ユーザーは自動スピンコーティングを行うことができます。マシンのユーザーインターフェイスは学習と使用が簡単で、コストと学習曲線の両方を削減します。このアセットは、さまざまな大型液晶ディスプレイとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた効率的な操作のためにも設計されています。このデバイスには、露光誤差を低減するためのタイマーが内蔵されており、一貫した信頼性の高いフォトレジスト処理が可能です。TOKYO ELECTRON MARK-8は、安全機能とアクセス保護機能を内蔵しており、無許可の人員が機械室に入らないようにしています。このモデルは、停電時に自動的にシャットダウンすることもできます。さらに、マシンは、ピーク性能を確保するためにリアルタイム機器監視で設計されています。要約すると、TEL Mark 8はプロセス全体のパフォーマンスを向上させるために設計されたフォトレジストシステムです。高度なフォトレジストセンサを搭載し、堆積基板構造の臨界寸法を正確に測定します。また、様々な大型液晶ディスプレイを備えた使いやすいユーザーインターフェースと、露出の誤差を低減するタイマーを内蔵しています。また、内蔵の安全機能とアクセス保護、および停電時の自動シャットダウンも備えています。
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