中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9275964 を販売中

ID: 9275964
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体チップの製造における回路パターニング用に設計されたフォトレジスト機器です。UV光源を使用してチップ基板上に感光性フィルムマスクを露出させ、所望の回路パターンを作成します。露出したフォトレジストフィルムは、化学開発者によってエッチングされ、不要な材料を除去して基板上の回路パターンを作成します。TEL MARK8は、0。3ミクロン以上の線幅を提供できる高分解能レーザーソースを備えています。TOKYO ELECTRON MARK-8のイメージングシステムは、複数の列を持つ複数列の投影ユニットを採用しており、ほとんどのラインパターンを正確かつ迅速に作成できます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8では多種多様なマスク形状やパターンを使用でき、異なる基板パターンに対して素早く簡単に変更できます。TEL Mark 8は、製造されたデバイスの最高品質を保証するために、さまざまなツールを使用しています。これらのツールには、スキャン電子顕微鏡が含まれており、露出した基板をスキャンして欠陥を検出するのに役立ちます。自動露出制御により、露出特性の自動補正が可能となり、露出プロセスの高精度を確保します。自動アライメントマシンにより、マスクと基板の正確なアライメントが可能で、工具はX方向またはY方向に簡単にアライメントできます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8は、半導体ロジック、メモリ、アナログ、パワーICなど幅広い用途にご利用いただけます。東京エレクトロンマーク8は、製造工程を厳しく制御することで、ラインサイズを小さくし、優れたリソグラフィ精度で高品質な結果を提供しました。フォトレジストのアセットは信頼性が高く、再現性があり、使いやすいため、半導体製造に最適です。
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