中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9269843 を販売中
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ID: 9269843
ヴィンテージ: 1996
(1) Coater / (2) Developer system
Left to right
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(7) HP
(3) COOL
WEE
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、生産ライン上のリソグラフィ用途向けに設計された先進的な写真処理プラットフォームです。薄膜フォトレジストを正確な配置、明瞭さ、再現性のあるデバイス基板に成膜できるように設計されています。TEL MARK8システムは、最新の技術進歩を活かし、超高精度を実現しています。高度なクローズドループオートフォーカスユニットと高解像度光学素子を備えており、デバイスのエッジ全体に最適なフォーカスを維持できます。また、照明パターンの広い改良されたマルチライン露光ツールを備えており、使いやすさとさまざまなデバイス形状とサイズを可能にします。東京エレクトロンMARK-8には、最適な基板アライメントを確保するための校正アセットと、微調整アライメントのためのソフトウェアベースのオーバーレイも用意されています。また、写真処理プラットフォームは、高度なフィルムスキャン機能を備えており、ウェーハがさらなるプロセスにさらされる前に正確な計測チェックを行うことができます。これにより、製造プロセスの次のステップに入る前に、デバイス基板が許容できる品質であることが保証されます。また、MARK-8は堅牢なオートメーションモデルを中心に設計されており、製造メーカーは既存の生産プロセスに容易に採用することができます。この装置は、蒸着速度の面で高い速度を誇り、メモリチップ、ロジックチップ、ディスプレイデバイスなど、幅広い半導体デバイスに最適です。東京エレクトロンMARK8フォトレジストシステムは、信頼性の高いフォトレジスト成膜と計測ソリューションをお探しの企業にとって魅力的な選択肢です。
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