中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9239619 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、半導体デバイスの製造に幅広い機能的メリットを提供するために設計された包括的なツールです。このシステムは、チップ生産の高速かつ高速のための高度なフォトレジスト（PR）処理ソリューションです。TEL MARK8は、世界をリードする半導体機器サプライヤーであるTEL社が製造した、193 nmと深紫外露光源を使用するために設計された完全自動リソグラフィーユニットです。この機械は、さまざまな光化学コンポーネントを搭載した一連の加工チャンバで構成されています。これらのコンポーネントは、さまざまなPRタイプのクリーニング、コーティング、露出プロセスを調整できる包括的なPRツールを形成し、プロセスの再現性を最適化し、サイクル時間を短縮し、フォトレジストの歩留まりを向上させることができます。TOKYO ELECTRON MARK-8プラットフォームに導入された高度なコーティングソリューションは、熱やナノスケール材料を含むすべての既存のPRプロセスを処理することができます。このツールは、高度なR&Dおよび商業生産の要求を満たすように設計されており、14nm以下の特長サイズでPR性能を提供しながら、高速非反射および短いサイクル時間を提供します。TOKYO ELECTRON MARK 8アセットは、厚み範囲、屈折率、最大・最小溶剤量、接着性など、幅広いPR特性に対応できます。モデルソフトウェアは、各デバイスの最適なプロセスに必要なPR入力を積極的に管理、適応、追跡することができます。さらに、インテリジェントな温度制御アルゴリズム、PR層の多層超薄膜制御、優れた汚染管理を提供し、フォトレジスト寿命を延ばすことができます。Mark 8には堅牢な計測システムが装備されており、コーティングの均一性をプロセス内で制御することができます。このユニットは複数のアクセスポートを備えており、広域露出とPRプロセスの最適化を可能にします。また、基板アライメントやフォトレジストのインデントにも実績のある精度を提供します。これにより、ユーザーは以前よりも高いレベルの画像解像度とコントラストを達成することができます。要するに、MARK-8 PRマシンは、半導体業界の需要の増加に対応するために設計された高度で包括的でユーザーフレンドリーなツールです。統合された光化学コンポーネント、優れた温度制御アルゴリズム、堅牢な計測システムにより、ユーザーは信頼性の高い再現可能なPR処理ソリューションを提供できることを保証できます。