中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、シリコンウェーハの表面に均一な材料を塗布するコンピュータ制御フォトレジスト装置です。レーザー照射装置、光学ヘッド、サンプルステージ、コンピュータ制御装置で構成されています。レーザー照射ツールには、ポンプレーザーダイオードとポンプレーザーキャビティが含まれています。ダイオードに光信号を印加すると、レーザーは赤外線の狭いビームを発し、レーザーキャビティにルーティングされ、信号を元の電力の何倍にも増幅します。増幅された信号は、キャビティから光ヘッドにリダイレクトされます。光学ヘッドには、複数の光学レンズと、出力ビームの形状とサイズを決定するビームスプリッタが含まれています。サンプルステージはウェーハを保持するために使用され、ステージとレーザーの正確な動きを調整するコンピュータ制御アセットに接続されています。コンピュータ制御モデルは、使用されるフォトレジスト材料の特性に応じて、レーザーの露出を変えることができます。この装置はまた、フォトレジストの正確な露出を確保するためにビームのサイズと形状を変更することができます。露出後、フォトレジストをウェーハから取り外し、さらに処理する準備が整いました。TEL MARK8は、シリコンウェーハ上の正確で均一なレイヤーを生成することができる高度なコンピュータ制御フォトレジストシステムです。このユニットは、さまざまな業界で使用される複雑な回路や部品を構築するために、ウェハ製造プロセスで使用されています。その精度は、多くの種類のアプリケーションに理想的なツールになります。