中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237074 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造用に設計された高度なフォトレジスト装置です。このシステムは、高解像度、高コントラストの高度なイメージングオプティクス、高度な画像解析アルゴリズム、および高精度レジストデリバリシステムを使用して、従来のフォトリソグラフィーアプローチよりも高速で効率的で費用対効果の高いリソグラフィープロセスを実現します。このユニットは、小規模フォトマスク製造から大規模製造まで、さまざまなリソグラフィおよびエッチングプロセスに統合されるように設計されています。高性能光学と高速データ処理を組み合わせた画像処理により、フォトレジストの正確なアライメントと迅速な露光を実現します。「ステップアンドリピート」および「オーバーレイ」機能をサポートしており、複数の露出フィールドを連続して処理し、パターン精度を向上させるために組み合わせることができます。このツールで採用されている高度な画像解析アルゴリズムは、斜めの照明などの洗練された照明技術を使用して、正確な露出フォトレジストのための高コントラスト画像を抽出します。TEL MARK8は、高度な成膜アセットと組み合わせて、効率的なレジストコーティングとパターニングに使用することができ、高スループットプロセスへの適用をさらに強化します。TOKYO ELECTRON MARK-8の堅牢な機械設計は、一貫した信頼性の高い性能を保証します。モジュール設計は容易な維持を可能にし、モデルは異なったプロセス条件に合わせることができます。装置は低い設置面積を提供するように設計されており、総システムコストを削減します。高度なフォトレジストユニットに加えて、Mark 8は高度なオートメーションおよび制御システムもサポートしています。この統合により、リソグラフィープロセスのさまざまな側面を制御するための完全なシステムエンジニアリングツールがお客様に提供されます。統合されたオートメーションソリューションは、異なるリソグラフィとエッチングプロセス間の複雑な相互作用を簡素化することにより、機能性をさらに高めます。東京エレクトロンマーク8は、リソグラフィープロセスにおける高い生産性とコスト効率を実現するために設計された高度なフォトレジストマシンです。高解像度のイメージングと精密なレジストデリバリー、高度な自動化および制御ソリューションを提供し、統合されたプロセス制御を実現します。