中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237072 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、高精度マイクロコンポーネントを作成するために特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、特許取得済みのin-situマスキングチャンバーを使用して、ナノメートルスケール機能の生成を可能にします。特に、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）や半導体チップの製造に有用です。TEL MARK8ユニットは、レジストパターンの詳細を正確に制御することができ、露出によるウェーハの損傷を最小限に抑えながら、正確な機能を作成することができます。最大解像力は0。5 μ mで、マスクとウェーハの正確なアライメントを保証する3軸ガントリーモーションツールを備えています。これは、レジストレイヤー内のパターンの正確な登録を達成するのに役立ちます。アセットの中心には高出力ブロードバンドレーザーソースがあり、レジスト層の迅速かつ正確な露出を可能にします。このレーザーソースは、製造プロセス全体の一貫性を維持するのにも役立ち、必要に応じて露出パラメータを変更して高精度のマスクとウェーハを製造することができます。さらに、このモデルは、レジストの品質を向上させるように設計されたin-situクリーニングモジュールも備えています。また、マスキングやウェハクリーニングに加えて、製造工程においてチャンバー内の適切な状態をモニタリング・維持することも可能です。また、東京エレクトロンMARK-8では、マスキングやウェハクリーニングの他にも、お客様のご要望にお応えします。これは、最高品質の結果と迅速な製造サイクルを確保するのに役立ちます。全体として、MARK8はユーザーにマイクロコンポーネントを作成するための効率的なプラットフォームを提供します。特許取得済みのin-situマスキングチャンバー、強力なレーザーソースなどの機能を備え、最高品質の微細加工を実現するための理想的な機器です。使いやすさと制御性により、部品生産に精度を必要とするあらゆるユーザーに最適です。