中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917 を販売中

TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8）は、最新のフォトリソグラフィーユーティリティを提供する高度なフォトレジストシステムです。ウェーバーフロント補正機能により、半導体ウェーハ全体で高精度なパターンを生成することができます。自動化された操作により、整列オーバーレイ、オーバーレイインテグリティテスト、オートフォーカスが容易になります。TEL MARK8はまた、半導体業界の微細加工に非常に有用なサブリゾリューショングリッドを微調整する機能を備えたステッピングアシストパターン生成のサポートを提供します。TOKYO ELECTRON MARK-8には、メインイルミネーターとOPTモードの2つのイルミネーターが装備されています。主な照明器は、高分解能レジストのための石英、石英-ハロゲン、拡散、およびレーザーベースの照明源の多種多様を可能にします。OPTモードは、特殊な照明源のセットを備えており、メインイルミネータよりも効率と均一性をウェーハ全体に提供します。TEL Mark 8では、フォトレジストパターンの開発と転送にさまざまなオプションを提供しています。Precise Imaging Kitを使用すると、パターンをフォトレジスト層に直接展開することができ、プレメッキ工程の必要がなくなります。さらに、正または負のフォトレジストは、基板転送キットを使用して、メインレジスト層から基板に転送できます。TEL MARK-8は、プロセスの最適化を容易にするための機能の配列を提供しています。最適化機能の例には、露光時間の最適化、可変露光量、露光半径の正確な制御などがあります。また、パーティクル除去、半導体ウェハクリーニング、スピンコーティングのための自由に定義可能なプロセスレシピも提供しています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8は、21世紀の半導体生産に必要な高品質な画像をユーザーに残します。フォトリソグラフィ中に光学的に画像を微調整するだけでなく、変化の激しい業界動向に対応するために必要な柔軟性をユーザーに提供します。自動化された機能には、画像のオーバーラップ補正、オーバーレイ制御、フォトレジストプロセスの最適化などがあります。さらに、MARK8の調整可能な照明ソースと画像データ配信技術により、優れたスループットで高精度な画像を作成できます。