中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216280 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、精密マイクロエレクトロニクス機器を製造する高性能フォトリソグラフィーシステムです。最先端のフォトレジスト技術を活用し、微小な回路で素早く正確に半導体ウェーハをパターン化します。TEL MARK8ユニットには、デュアルビームレーザパターニングを活用した高度なウエハースキャン機を搭載し、ウェハ上にフォトレジストのトラックを正確に配置して露光します。スキャンレーザーは、フォーカス、パルス幅、パワーレベルを調整する機能も備えており、フォトレジスト層を非常に正確に処理できます。このスキャンツールは、高度なフォトレジスト処方と組み合わせることで、セットアップ時間を最小限に抑えながら複数のウェーハを同時に正確かつ再現可能なフォトレジスト処理を可能にします。TOKYO ELECTRON MARK-8には、上下レンズパターン補正オプションを搭載したデュアルビームレーザースキャニング機能も搭載し、モデルの性能をさらに高めています。この機能により、レーザースキャナは、処理温度または露出時間によるウェーハの表面のたるみや変形を補償することができます。また、ウェーハパターンの安全な保存とウェーハとプログラムシステム間のデータの迅速な転送を含む高度なリソグラフィ管理スイートを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8ユニットは、TELが提供する堅牢なプロセスサポート技術により、生産環境と研究環境の両方に対応しています。このマシンには、ユーザーフレンドリーな生産管理ツールと、ツールのパフォーマンスの監視と最適化を支援する自動ランタイム分析が装備されています。TOKYO ELECTRON MARK8 photoresist assetは、精密マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための高度なフォトリソグラフィーモデルです。精度と速度を向上させるデュアルビームレーザパターニング装置と、ユーザーフレンドリーな生産管理のための高度なリソグラフィ管理システムを備えています。高度なフォトレジスト処方とアッパー/ローレンズパターン補正オプションにより、複数のウエハの再現可能なフォトリソグラフィに優れた性能を発揮します。