中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9215817 を販売中

ID: 9215817
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8" 4 HP (4) CP (3) DHP (3) 2-1 RRC EBR Stepping (2) 2-2 RRC DEV Flowmeter digital type E2 I/F NIKON THC C/B (3L x4) LtR 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、高度なリソグラフィ技術を駆使し、回路などの複雑なパターンや形状をシリコンや金属などの基板材料にエッチングするフォトレジスト機器です。具体的には、TEL MARK8フォトレジストシステムを使用して、特定の基板部分のみをエッチングし、フォトレジスト層を使用して基板の他の部分を化学エッチングから保護することで、基板をエッチングから絶縁することができます。東京エレクトロンMARK-8フォトレジストユニットは、フォトレジストの非常に薄いコーティングを基板に堆積させることから始まる2段階のプロセスです。フォトレジストの適用後、MARK-8機械はフォトレジストを所定の波長の光にさらし、フォトレジスト内で化学変化を引き起こし、フォトレジストのコーティングの厚さに応じてエッチング処理を抵抗または許可する。その後のパターンの基板へのエッチングは、フォトレジストツールによって採用されている最先端の技術のおかげで可能になっている高精度のビーム焦点で行わMARK8ます。集積回路やマイクロエレクトロニクスデバイスなどの複雑なパターンや形状であっても、基板材料はエッチングから非常に高い精度まで保護できます。また、東京エレクトロンMARK8アセットは、フォトレジストソリューションの幅広い選択肢を提供し、最適な結果を得るためにアプリケーションを正確に調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8は、シリコンや金属などの基板上に複雑なパターンや形状を精密にエッチングすることができる最上位フォトレジストモデルです。フォトレジスト成膜と光露出の2段階のプロセスにより、フォトレジスト層が化学的に変換され、エッチングから保護されます。また、TEL Mark 8の高度なビームフォーカス機能により、エッチング処理が非常に高い精度で進行します。フォトレジストソリューションの広範囲にわたるMark 8は、基板の信頼性の高い高精度エッチングをお探しのお客様に好まれています。
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