中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9207242 を販売中

ID: 9207242
ウェーハサイズ: 8"
System, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Coating and Development装置は、最新のフォトニクスデバイス製造のための最先端コーティングおよび開発システムです。この最先端のシステムは、感光材料の高精度かつ超微細な寸法制御のために設計されています。ユニットは、CoaterとDeveloperという2つの基本コンポーネントで構成されています。このコーターは、SLC (Subland Layer Coating)技術を活用した高精度の自動真空蒸着機です。この技術は、リソグラフィー工程で使用する感光材料の均一な沈着を可能にします。開発者は、必要な分解能に感光材料を開発することができる完全に没入型の水浴ツールです。TEL MARK8 Photoresistアセットは、Angular Scatter Measurement (ASM)、 Multiple Pattern Overlay (MPO)、 Uniformity Enhancements (UE)などの高度な技術を活用して、望ましい感光性材料を均一致します。これらの機能は、デバイスにコーティングすると、詳細と精度が向上します。TOKYO ELECTRON MARK-8モデルは、ダイレクトコーティングと開発の両方で大型基板の加工が可能です。この機能により、欠陥を最小限に抑え、歩留まりと性能を向上させることができます。装置のもう一つの重要な特徴は、ユーザーが簡単にアクセスして転送するために雑誌に複数のコーティングされたパターンを保存することができ、その革新的な「フットプリントマガジン」です。TEL MARK-8 Photoresist Coating and Development(フォトレジストコーティング開発)システムには、さまざまな安全性と環境管理機能が搭載されています。最新の法的および業界標準に準拠するように設計されており、安全性とコンプライアンスについて厳格にテストおよび認定されています。TOKYO ELECTRON MARK8 Photoresist Coating and Developmentユニットは、感光材料のコーティングと開発のための最先端の精密で信頼性の高い機械です。これは、高度な機能の範囲を装備しています、だけでなく、安全性と環境制御、均一なカバレッジと正確な石版処理の露出を確保します。
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