中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9190379 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、TELが開発した先進的なフォトレジスト加工装置です。マイクロエレクトロニクス業界のフォトリソグラフィープロセス全体で効率的かつ正確な制御を提供するように設計されています。TEL MARK8は、自動ウェーハ伝達メカニズム、高品質の露出・開発機能、および露出後のプロセスを幅広く提供しています。TOKYO ELECTRON MARK-8の高度なセミオートローディングシステムは、レンズの高速かつ正確な交換を可能にし、露出時の精度を補完する機能を備えています。高度なウェーハローディングユニットは、特定のウェーハジオメトリを備えており、ローディングとアンロード時にローベンドプロファイルとともに最大チップカバレッジを可能にします。MARK8の最先端の露光機は、フォトリソグラフィープロセスに重要な精度と精度を提供します。高精度で高精度なLSIステッピングシステムにより、フォトレジストに高性能レーザーでサブミクロン分解能を必要とするパターンを露出することができます。これにより、ウェーハに正確なパターンを露出させることができます。全体として、TEL Mark 8の露出アセットは非常に効率的であり、生産スループットとダウンタイムの削減を可能にします。TEL MARK-8は、エッチング、ベーキング、アッシング、確認などのPAS使用プロセスを含む、露出後の高度な治療モデルも提供しています。この装置は、露出後の幅広いプロセスを自動化することができ、お客様の幅広いニーズに対応するための繰り返し使用と微調整を可能にします。これにより、最終的にはサイクルタイムを短縮して高品質で正確な結果を得ることができます。MARK-8は、高い精度を確保しながら、最大の再現性を提供するために構築されています。露出処理と露出後処理を含むシステムの重要な機能は、安全性を犠牲にすることなく、可能な限り最高の結果を提供するように設計されています。全体として、Mark 8は高度で効率的なフォトレジスト加工ユニットです。高速で正確な露出、自動ウェーハ転送機能、露出後処理機能を提供し、サイクルタイムの少ない高品質な結果を得ることができます。これにより、マイクロエレクトロニクスや半導体製造に最適です。