中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9180753 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、高剛性・フレキシブル基板上に集積回路を構築するフォトレジスト機器です。これは、薄いレジスト層に画像をパターン化するために光を使用する高度なリソグラフィ技術に基づいています。光は高精度の可変焦点光学システムによって投影され、複数のソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントを使用して制御されます。このユニットは、高度なオーバーレイ、テレセントリックイメージング、長深度イメージング、大容量パラメータ制御など、複数のフロントエンド光学機能をサポートしています。このマシンには、リアルタイムでプロセスパラメータを最適化するための自動ビルドプロセスエンジンも搭載されており、ダウンライン検査機能を提供します。TEL MARK8の集積回路用レジストコーティングは、他のフォトレジストシステムよりも高精度で高品質です。また、より大きな基板にも対応可能で、最大650mmの基板にも対応可能です。高精度で高速な基盤は、極めて高速かつ高精度な集積回路の生産に大きく貢献します。さらに、高度な構造不均衡検出により、複雑な3D構造を処理し、生産速度と精度を向上させることができます。このアセットはまた、最適なイメージングのための基板依存パラメータセットをサポートし、レジストコーティングプロセスに複数のオプションを提供します。高速・高効率自動露光装置を採用。このシステムは、プロセスの最適化に最適な非常に高い精度と再現性を保証します。また、複数の露出をサポートし、絞り制御、エリア選択、フルフィールドイメージングなどのモードを開発します。東京電子MARK-8にはウエハプラズマアブレーションユニットもあり、レジストフィルムを除去することができます。TEL MARK-8は、MEMなどの薄膜層を含む用途に最適です。TOKYO ELECTRON MARK 8は、幅広い制御技術を搭載しています。精密なライニング、テープの位置決め、パターニングを可能にする高速制御ツールを備えています。また、ギガビットイーサネット、CANバス、 SPIなどの高度な通信プロトコルもサポートしています。これにより、資産を既存の生産ラインにシームレスに統合できます。マーク8は、安全性と信頼性の最高水準を満たすように設計されています。自動自己診断モデルを搭載しており、故障を検出し、必要に応じてメンテナンスを行うことができます。また、分析のための詳細なレポートとデータを提供し、プロセスの最適化をこれまで以上に容易にします。MARK-8には、最適な製造性能と信頼性を保証する幅広い安全機能も含まれています。