中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9161033 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9161033
(2) Coaters / (2) Developers system
(2) AD
Open cassette, 8"
(4) STG In / (4) STG Out
(5) HP
(7) Chillers
WEE
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、半導体デバイスの製造に特化した自動処理システムです。これは、優れた性能と信頼性を提供するために高度な技術を利用して、クラスPB 1000処理プラットフォームに基づいています。このユニットのプラットフォームには、あらゆるタイプの半導体製造プロセスの事前構成されたレシピを備えたマルチプロセス機能、プロセス操作を最適化する方法を学ぶインテリジェントなプロセス制御エンジン、および簡単にナビゲートできるグラフィカルユーザーインターフェイスなどのさまざまな機能が含まれています。さらに、このプラットフォームは、フォトレジスト、エッチング、クリーン、蒸着プロセスなど、あらゆる種類の材料およびプロセスと互換性があります。TEL MARK8 Photoresist Machineは、効率的なフォトレジスト処理に特化した機能を多数搭載しています。フォトレジストをウェーハに正確に露出させることができる高精度露光ツールを搭載しています。この資産は、フォトレジストの露光時間と露光時間を正確に制御し、生産歩留まりを確保することができます。さらに、優れたプロセス制御と監視のために、トップダウンのプロセス監視モデルが装備されています。プラットフォームには、事前に設定された基板保護装置も含まれています。これにより、フォトレジストは均一なコーティングを受けることができ、製造工程を経た後もその特性は一貫しています。プラットフォームのもう一つの重要な特徴は、高度なフォトレジスト開発システムです。これにより、フォトレジストは過剰な残留物なしで開発され、エッチング速度が最適化されます。フォトレジスト加工の精度を確保するため、東京エレクトロンMARK-8フォトレジストユニットには一体型モニタリングマシンを搭載しています。このツールは、ウェーハ上のフォトレジストの滞在時間、露光時間、環境の温度、湿度を監視します。これにより、製造プロセス全体で一貫したフォトレジスト品質を維持できます。TEL Mark 8 Photoresist Assetには、生産プロセスを合理化するための統合ツールも含まれています。これらには、高度な機械制御機能、プロセスの自動監視、統合されたアラームと警告、トレンド分析が含まれます。さらに、このモデルは1時間に最大50個のウェーハを処理できるため、非常に効率的で費用対効果が高くなります。TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、半導体製造装置の自動化、効率化、信頼性の高いプラットフォームです。フォトレジストを正確に処理し、露出と開発時間を制御することができます。さらに、このプラットフォームには、生産プロセスの歩留まりを最適化し、貴重な時間を節約するために設計された一連の統合機能が含まれています。
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