中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9159072 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、急速に変化する現象の観測を可能にするフォトレジスト機器です。このシステムは、サブミクロンの超微細パターンを短時間で高精度に検出および制御することができます。これは、ナノメートル分解能とフォトエッチング性能で感光膜を露出するために走査電子ビームを利用しています。TEL MARK8は、ポリイミドなどのポリマー基板からアルミニウムなどの金属基板まで、あらゆる基板上にさまざまなパターンを作成することができます。幅広い解像度を提供しており、最高解像度は0。2 μ mです。このユニットは、X軸とY軸の両方で高解像度でスキャンする機能も備えています。TOKYO ELECTRON MARK-8は、最大200mmまでの基板加工が可能で、所定のショットで0〜400mmの深さに対応できます。基板を均一にコーティングするためのスピンコーターと、最大ステージ速度160cm/分 （cm/min）の精密ステージ用の多軸ステージを備えています。3Dパターニング、投影キャピラリー、3Dマスク印刷など、さまざまな用途に対応できます。これらの機能により、MARK8はマイクロエレクトロニクスおよび半導体産業のさまざまな用途に適したツールとなります。TEL Mark 8には露出制御ソフトウェアが統合されており、望ましい露出と基板サイズの操作を容易に調整できます。アセットには、露光時間を22％短縮できる高速シャッターも備えています。このモデルは、ツールのパフォーマンスを最大化するために、機器の効率に関する迅速なリアルタイムデータフィードバックを提供するために、制限の高い監視を利用しています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8は、主光線を物体表面に正確に集中させる包括的なインレンズシステムを採用しています。このユニットはまた、ビームが基板に適切に焦点を当てていることを確認するために、内向きのカメラ監視を持っています。内蔵の校正機は、簡単なセットアップと迅速なツール準備時間をユーザーに提供します。TEL MARK-8に加えて、TEL/TOKYO ELECTRONでは、ユーザー向けのアフターマーケットケアやサポートプログラムを積極的に行っています。アセットの迅速で信頼性の高いサービスとメンテナンスを提供し、ソフトウェアとハードウェアのアップグレードを提供します。また、ユーザーがTEL製品を最大限に活用できるよう、トレーニングやドキュメンテーションサービスも提供しています。