中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9158967 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造用に設計されたクローズドループ型フォトレジストプロセス制御装置です。これは、リアルタイムで、ウェーハ上のフォトレジストの処理のためのフォトレジスト化学濃度と温度の状態を測定する高度な制御アルゴリズムのセットで構成されています。したがって、最適なフォトレジストの開発に必要なフォトレジスト化学濃度と温度の非常に正確な制御と監視を提供します。TEL MARK8は、制御ユニットと測定ユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。制御ユニットは、データ収集機、信号処理ツール、デジタル制御資産を含む多数のモジュールで構成されています。データ収集モデルは、フォトレジストの化学濃度と温度を含む関連するセンサー信号をキャプチャする責任があります。信号処理装置はデータ解析と前処理の作業を行い、デジタル制御システムは制御アルゴリズムを実装し、必要に応じてフォトレジストの化学濃度と温度を監視および調整します。測定ユニットは、チャンバー内のさまざまな場所に設置された多数のプローブで構成されています。これらのプローブは、制御アルゴリズムがプロセスパラメータを効果的に調整できるようにするために、フォトレジストの化学濃度と温度を測定する責任があります。TOKYO ELECTRON MARK-8は、標準のインターフェースにより、既存のセットアップに簡単に統合できます。また、すべてのモジュールや機器で厳格な自己診断を実施し、フォトレジストが正しく処理されていることを確認するための継続的なデータ分析を行うため、高い信頼性を提供します。また、将来の分析のためにデータを保存する機能も備えているため、問題が迅速に対処できるようになります。全体的に、TEL MARK-8は高度で信頼性の高いフォトレジストプロセス制御ツールであり、ウェーハ上のフォトレジストの処理において極めて精度を提供するように設計されています。高度な制御アルゴリズム、将来の分析のためにデータを保存する機能、高い信頼性を備えているため、半導体デバイス製造に最適です。