中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9142711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、洗練されたウェーハ加工プロセス向けに設計された最先端のフォトリソグラフィックシステムです。最高レベルの製品品質と信頼性を保証します。多種多様な基板上の光、熱、その他の複雑なナノスケール構造を処理することができます。TEL MARK8はe-beamとi-Lineの両方のパターンをサポートし、お客様は単一のプラットフォームで研究開発と生産プロセスの両方を実行することができます。東京電子MARK-8は、13。56MHzの誘導結合プラズマ（ICP）源を搭載し、高度な容量結合プラズマ（CCP）技術を搭載し、プラズマ侵食を低減し、エッチング選択性を向上させています。また、高度なマルチゾーン温度制御ユニットを装備しており、すべての基板に正確に制御された均一性とプロファイル制御を提供します。さらに、高度のビーム制御機械は露出の均等性を保障します。最適化されたエンドエフェクタユニット（EEU）設計と高度なビジョンシステムにより、最小のスペースで最も厳しい公差と最高の解像度のパターンが可能になります。このツールはコンパクトなサイズと小型のフットプリントを備えており、スペースが限られている実験室やその他の小規模生産環境に最適です。さらに、ロボットハンドリングなどの最新のオートメーション技術を搭載し、多種多様なクリーンルーム、ホットリンク、転送環境に簡単に統合できます。TOKYO ELECTRON MARK8は、ナノメートルレベルで最高レベルの生産性と正確なパターニングを提供します。これは、実験室や研究施設にとって理想的なツールであり、これまでにないパフォーマンスと柔軟性を提供します。このモデルは、最大の生産性と信頼性を提供するために構築されており、顧客はダウンタイムを最小限に抑えて目標を達成することができます。