中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9115313 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、ウェハのフォトリソグラフィ加工に半導体業界で使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、200mmから450mmまでの基板を扱うことができ、マスクベースとダイレクトライトプロセスの両方に適しています。ユニットには、処理前に基板をきれいに洗浄して洗浄するために使用することができる装備された洗浄機が含まれています。基板入出力ユニットを内蔵しており、非常に効率的で使いやすいです。このツールで使用されるフォトレジストには、正、負、正/負など、いくつかの種類があります。TEL MARK8は、ステッパーを使用して基板を目的の場所に正確に移動させるだけでなく、ウェハステージを使用して、あらゆる方向に回転、上昇、下降、およびベースズームを行うことができます。また、8ゾーンのガス供給資産を備えており、プロセスパラメータをより高度に制御することができます。このモデルには、エキシマレーザー、イオン源、走査型電子ビーム源からなる放射線源が組み込まれています。また、蒸発、スパッタ、スパッタ蒸着などのプロセスを可能にする真空加工モジュールを備えています。TOKYO ELECTRON MARK-8は、高密度相互接続の形成、ミクロンレベルのパターン形成、スルーホールのリソグラフィなどの用途に適しています。さらに、不動態層、絶縁層、フォトマスクなどの高度なフィルムシステムを作成することができます。あらゆる種類の加工・加工を可能にする機能豊富なプラットフォームを備えています。TOKYO ELECTRON Mark 8は、幅広い基板・フォトレジストを取り扱うことができる、信頼性の高い先進的なフォトレジスト機器であり、幅広い機能と機能を提供します。汎用性と使いやすさで半導体業界で高い人気を誇るシステムであり、さまざまなフォトリソグラフィープロセスを正確かつ迅速に達成することができます。