中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109448 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、露光プロセスを正確に制御できる高精度なパターニングを提供するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。リソグラフィやエッチングなどのウェハ加工用半導体ウェハに薄膜をコーティングすることが可能です。ユニットには、強力なステッパー、自動コントローラ、光学イメージングマシン、モーター付きステージが含まれています。工具の心臓部であるステッパーには広角レンズと狭角レンズが装備されており、フォトレジスト加工に必要な照明角度を提供します。ステッパーには、電動ウェーハステージと検出器があり、光学アセットに対するウェーハの正確なアライメントを可能にし、ミクロン単位での精度を可能にします。ステッパーには、最適なイメージング性能に必要な3軸の調整を提供するアライメント機構も含まれています。ステッパーに接続された自動コントローラは、ウェーハ位置、ステップサイズ、露出線量、露出時間などの必要な制御パラメータをすべて提供します。これらのパラメータを使用すると、オペレータは最適な画像サイズが達成されることを確実にするために露出手順を効果的に制御することができます。TEL MARK8の光学イメージングモデルには、DMD （Direct Mask Data）イメージング装置が搭載されており、視野が広いため、投影光学系の迅速かつ正確なアライメントが可能です。このシステムは、個々のリソグラフィ用途に必要な様々な露出に対応するために調整することができます。最後に、電動ステージにより、デバイスを手動でリセットすることなく、ユニットを次のウェーハ位置に移動できます。TOKYO ELECTRON MARK-8フォトレジストマシンは、高い精度と正確な制御性を兼ね備えており、ウェーハ加工用途においても優れた選択肢となっています。この組み合わせにより、製造メーカーは高解像度の画像で迅速かつ正確にウェーハを作成することができます。これにより、ウェーハ製造プロセスの生産性が大幅に向上します。