中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109446 を販売中
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ID: 9109446
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
2C2D/5HP/2DHP/6CP/1AD/1WDS/1WEE
2-1 RRC x2
EBR cylinder
2-2 RRC x2
THC
C/B
Local
9801F
RtL
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、高精度で高性能な電子部品の製造に不可欠な半導体業界で使用される強力なリソグラフィーツールです。TEL MARK8システムは、優れた画質と解像度を提供する高度なリソグラフィーユニットです。これは、デバイス基板上に複雑なパターンを作成するために窒素シャドーイング技術を使用しています。このマシンは、レジストデリバリーツール、レーザーソース、光学アセンブリ、およびサポートアセットで構成されています。レジストデリバリーモデルは、パターンごとに必要なレジスト材料の量を正確に制御することができます。また、ユーザーはレジストエリアの希望の幅を正確に選択することができます。装置のレーザー源はさまざまなパターンを作成する調節可能な波長および脈拍の持続期間ができるCO 2レーザーです。レーザーは10nm解像度のパターンを作成するように設計されています。光アセンブリには、高品質の画像を提供することができるイメージングファイバが含まれています。また、収差を最小限に抑え、レジスト拡散を最小限に抑えるように設計されています。サポートシステムは、プロセス制御を改善するための自動パターニング機能を可能にします。東京電子MARK-8フォトレジストユニットは、比類のないスループットで安定した高精度な画像処理を実現します。1つの露出プロセスで複数のパターンを作成することができます。このマシンはユーザーフレンドリーに設計されており、プロセスが正しく実行されるように幅広いカスタマイズ可能なオプションを提供します。露出パラメータ、パターンピッチ、ショットサイズなどのパラメータを選択できます。さらに、このツールには監視アセットが装備されており、すべてのパターンが最高品質に作成されることを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8フォトレジストモデルは、シリコン、ヒ素ガリウム、ガラスなど様々な基板に適しています。この装置は、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、医療機器など、幅広い用途で使用できます。システムも信頼性が高く、追加のメンテナンスや校正を必要とせずに操作できます。TOKYO ELECTRON Mark 8は、画質と解像度に優れた先進的なリソグラフィーユニットです。これは、さまざまなアプリケーションのための複雑なパターンを作成するための理想的なマシンです。このツールは、ユーザーフレンドリーであり、パターンが正しく形成されていることを確認するためのプロセス制御機能を提供するように設計されています。この資産はまた、信頼性が高く、追加のメンテナンスや校正を必要とせずに運用できます。
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