中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、リソグラフィ工程での使用を想定したフォトレジスト装置です。TEL MARK8は、半導体デバイスの製造にマイクロファブリケーションやマイクロエレクトロニクスで使用されるリソグラフィーシステムです。マスクアライメントマシン、ウェハステージ、フォトレジストツール、光学ツールで構成されています。マスクアライメントアセットは、ステージモーションを制御するステージモーションコントロールユニットとウェーハアライメントユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハアライメントユニットは、ウェーハをキャプチャしてマスクに整列させるために使用されます。さらに、エンコーダモデルを使用して2次元アライメントを実現します。これにより、ウェーハが正確かつ正確に整列されるようになります。ウェーハステージは、物理的にウェーハをマスクに転送する作業を行います。ステージには、低慣性リニアアクチュエータ、エアフィードスルー、三相エンコーダシステムなどのモーションコントロールメカニズムが装備されています。これらの機構により、ウェハステージの動きが正確かつ正確になります。フォトレジスト装置は、感光フィルムでウェーハをコーティングするために使用されます。TOKYO ELECTRON MARK-8には、化学供給ユニット、真空ディスペンスユニット、ガス制御ユニット、加熱ユニットが装備されています。ケミカルサプライユニットは、ウェーハをコーティングするための化学物質をタンクに充填して補充するために使用されます。真空ディスペンスユニットは、フォトレジストをウェーハ上に均等に塗布できるように、ウェーハ上に真空を作成するために使用されます。ガスコントロールユニットは、安全で汚染のない環境を確保するために使用されます。暖房装置は化学薬品を調整された温度で保つのに使用されています。TEL MARK-8の光学ツールは、ウェーハを光にさらすために使用されます。このツールには、照明光学とイメージングオプティクスが装備されています。照明光学系は、光がマスクを通過し、ウェーハに投影することを可能にします。イメージングオプティクスにより、ウェーハのイメージングがアライメントプロセスに役立ちます。東京電子MARK8は、リソグラフィ工程の精度と精度を確保するために、様々な最先端技術を搭載しています。装置ステージの正確なアライメントと化学供給ユニットの正確な制御により、フォトレジストのウェハへの均一で信頼性の高い堆積が保証されます。マスクアライメントシステムとイメージングオプティクスは、正確で質の高いイメージングを提供します。これらの機能の組み合わせは、Mark 8に最先端の半導体デバイスを作成するために必要なツールを提供します。