中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098641 を販売中
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ID: 9098641
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、集積回路製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、自動露出ユニット、自動処理ユニット、および自動検査ユニットで構成されています。4 μ mの解像度を持ち、直径8インチまでのウェーハに対応可能です。自動露光装置は、光を使ってフォトレジスト素材にパターンを作成するプロセスであるリソグラフィに使用されます。TEL MARK8は、フォトレジストウエハに高速かつ高品質のフォトプロットを露出するように設計されています。これは、クロム、モリブデンまたは他の金属のパターンで構成されたフォトマスクを通して投影された紫外光を使用することによって達成されます。投影されたパターンは、フォトマスクを通して投影された画像を光学的に減らすことによってウェーハに転送されます。オートプロセッシングユニットは、自動露出ユニットによって露出されるフィルムのコーティングと開発を担当しています。一般的にTOKYO ELECTRON MARK-8ユニットの開発者は、酸系とアルカリ系の両方です。開発後、自動検査装置は欠陥がないことを確認するためにパターンを検査する責任を負います。MARK-8は、集積回路生産における強力で信頼性の高いツールです。4 μ mの解像度と最大直径8インチまでのウェーハを処理する能力により、機械は正確で高品質のフォトプロットをタイムリーに製造することができます。その自動露出、自動処理、および検査ユニットは、それをユーザーフレンドリーで信頼性の高いツールにします。集積回路の幅広い生産ニーズに最適です。
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