中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098639 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098639
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、最先端のリソグラフィ用途向けに設計された最先端のフォトレジストシステムです。このユニットは、フォトリソグラフィに関連する写真処理ステップを自動化する軽量で自己完結型のロボットアームを使用しています。複雑なリソグラフィックパターンの高精度、高精度、高スループット生産を可能にします。TEL MARK8 Photoresist Toolは、統合されたハードウェアとソフトウェアの強力な資産を備えています。デジタルイメージング機器、ファインコントロールシステム、レジスト開発ユニット、露出後のベーキングオーブンなどを主成分としています。デジタルイメージングマシンには、レーザー干渉計、デジタルイメージングカメラ、レーザー照明ツールが含まれています。このアセットにより、0。1ミクロンまでの解像度でパターンの配置とアライメントを正確に制御できます。ファインコントロールモデルにより、フォトマスクとフォトレジストの露光量を精密に調整できます。レジスト開発装置は、基板上のパターンの開発とエッチングに使用されます。アルカリ、酸および熱のような標準的な抵抗の開発プロセスを利用するこのシステム。最後に、露出後のベーキングオーブンを使用してフォトレジストの開発プロセスを完了します。このオーブンは発達のための適切な温度にフォトレジストをもたらします。TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Unitは、最も要求の厳しい用途のためのフォトエッチング部品の製造において、精度、精度、再現性を保証する高度で高性能な機械です。このツールは、高速スループットを実現し、開発サイクルを大幅に短縮し、最高品質の製品を生み出すように設計されています。この資産は高度に構成可能でカスタマイズ可能であり、最もシンプルで複雑なリソグラフィープロセスを可能にします。また、東京エレクトロンMARK8フォトレジストモデルはセットアップ、使用、メンテナンスが容易で、あらゆるフォトリソグラフィのニーズに最適なソリューションです。
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