中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098402 を販売中
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ID: 9098402
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、フォトリソグラフィ用に設計されたフォトレジスト機器で、マイクロサーキットの製造に一般的に使用されています。それは平面上の抽象的なパターンの作成のために使用することができ、高度か複雑な集積回路の設計のために頻繁に使用されます。TEL MARK8はウェーハステージ、ランプ、フォトレジストの3つのパーツで構成されています。ウェーハステージはシステムのベースであり、希望する集積回路設計のウェーハを配置します。設計は最初にフラットパネルディスプレイでテストされ、次にウェーハに転送されます。ステージはウェーハを自動的に保持して移動するように設計されています。ランプはUV光の源であり、光レンズを介してウェーハ上を通過する集中ビームを生成します。このランプは広範囲の波長を生成することができ、複数のフォトレジストを処理することができます。フォトレジスト(photoresist)とは、紫外線にさらされると、画像を作成したり、ウェーハ表面にパターンやデザインを作成する材料です。フォトレジストはウェーハ表面に塗布され、ランプの紫外線にさらされた後、表面に結合するか、または洗い流され、所望のパターンになります。個々の部品に加えて、調整可能なノズルサイズ、3段式ポンププロセス、経験的に基づいた自動校正ユニット、冷却水基盤などの追加機能をMARK-8しています。ノズルサイズは最大6。4mmまで調整可能で、パターニングの細部を細かく調整できます。3段階のポンププロセスはフォトレジストのより効率的で均一な配信を提供します。自動校正は、機械の最高レベルの精度と再現性を確保するように設計されMARK-8います。最後に、冷却水ベースは、潜在的な過熱を減らすために追加の冷却を追加します。これらの機能を組み合わせることで、Mark 8はフォトリソグラフィおよびマイクロサーキット製造アプリケーションに最適なツールとなります。ウェーハ表面でパターンを素早く正確に生成することができるため、航空宇宙や家電などのさまざまな産業や、高度なエレクトロニクス用途における集積回路の作成に使用できます。
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