中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098401 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098401
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 (TE TEL MARK8)は、半導体業界の半導体ウェーハに厚膜を堆積させるフォトレジスト装置です。TE TOKYO ELECTRON MARK-8は、ステッパー/スキャナーアプリケーション、ウェーハプロービング、リソグラフィなど、幅広い用途に精密、自動、高速のソリューションを提供します。このシステムは、優れた機械的整合性、優れた熱安定性、および非常に高速な応答時間を持つように設計されています。TE TEL Mark 8は、クリーンな真空チャンバー、蒸着源、および付属のコンピュータソフトウェアを備えたユニットプラットフォームで構成されています。この機械は高真空環境を提供するように設計されており、真空チャンバー内のウェーハに高品質で高密度の膜を堆積させることができます。このソースは、熱ビームや電子ビームなど、さまざまなタイプの蒸着プロセスに構成することができます。成膜は、成膜プロセスのパラメータを調整するプログラマブルコントローラとアルゴリズムを含むコンピュータソフトウェアを使用して正確に制御されます。TE TEL/TOKYO ELECTRON MARK8には、スペクトルデータを収集するための光学サンプリングツールがあり、これをリアルタイムで監視します。このデータは、堆積膜の均一性と精度を確保するとともに、堆積プロセスにおけるプロセスパラメータを検証するために使用されます。TE MARK8の機能には、温度コントローラと高度なセルフモニタリングアセットが内蔵されているため、プロセスパラメータは正確な許容範囲内に保たれます。これにより、堆積したフィルムが最高品質で均一であることが保証されます。このモデルには、プロセスをリアルタイムで監視する自動アラーム装置もあり、パラメータが許容範囲外にある場合はプロセスをシャットダウンできます。TE TEL MARK-8は、ウェーハプロービング、リソグラフィー、その他多数の先進プロセスなど、半導体業界の多くの用途に使用されてきました。TE MARK-8は、自動制御、精密成膜、高品質の結果を備え、さまざまな産業用途に最適なシステムです。
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