中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体基板の回路パターンを作成するために使用されるフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィとエッチングの両方の技術を使用して、基板内のパターン化された金属線を作成することができます。フォトレジストシステムは、希望のパターンを持つフォトマスクを使用し、ユニットに導入されます。まず、スピン工程を用いてフォトレジスト材料をコーティングします。基板はフォトマスクを通して紫外線にさらされます。この過程で、光はフォトレジスト材料と相互作用し、その特性を変えます。露出した後、基板を溶媒で洗い流し、露出していないフォトレジスト材料を除去するか、露出した部分を残します。フォトレジストの露出部分は残り、エッチングのための「ステンシル」として機能します。その後、エッチング処理を施して、露出したフォトレジストが残っている部分の基材を除去します。これは、金属線の所望のパターンを作成します。その後、金属ライン上の絶縁材料の層であるプレメタル誘電蒸着が追加されます。これにより、デバイスの信頼性が向上し、エッチング部品と基板間の電気的接続が可能になります。最後に、露出したフォトレジストは、ウェーハをテストする前に除去する必要があります。これは通常、デベロッパーソリューションに没頭することによって達成されます。TEL MARK8は、基板上に金属ラインを作成するプロセスに様々な利点をもたらします。これにより、露出した領域を基板の露出していない領域から分離するための複数のステップが不要になり、プロセス全体がより効率的かつ経済的になります。また、循環ラインの寸法を正確に制御し、信頼性の高いデバイス性能を保証します。要するに、東京エレクトロンMARK-8フォトレジストマシンは、基板内の金属線の複雑なパターンを作成するための効果的なツールです。自動化されたプロセスと正確な制御により、信頼性の高いデバイス性能が保証され、エレクトロニクス業界の企業にとって貴重なツールとなります。