中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、マスクレスリソグラフィ用途向けの高度で先進的なシステムです。2次元発光ダイオード（LED）アレイを主照明源として使用し、LED照明を正確に集中させるという斬新なコンセプトを採用しています。数ミクロンから数ミリまでの加工が可能で、ナノメートルの登録精度を容易に実現できます。また、光学ビームレジストや電子ビームレジストなど、さまざまなフォトレジスト材料との連携や、ドライエッチングや金属化も可能です。光源とレンズキャビティを含む光学ヘッドアセンブリ、LEDコリメーションモジュール、デジタルイメージプロジェクションモジュール、光学系とイメージング基板をツールに正確に配置するためのアライメントマシンなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。LEDアレイは、パターンをレジスト材料にパターン化するために必要な照明を提供し、広範囲の動作波長でかつてないレベルの光強度の直線性を提供することができます。LEDコリメーションモジュールは、電子作動バルブを備えており、直接照明と拡散光を正確に切り替えることができ、より細かい特徴のカバレッジと露光緯度を可能にします。特別なセンサーとイメージングソフトウェアを使用することで、LEDアレイと基板を正確に整列させ、1ナノメートル以上の位置合わせ精度を得ることができます。デジタルイメージプロジェクションモジュールは、パルス幅変調や画像の空間分解能などの多くの設定を通じて、画像の強度を制御するために使用されます。このモジュールは、画像の全体的な品質を維持しながら、画像領域を拡大または縮小するためにも使用できます。アセットには、イメージング基板とLEDアレイを正確にアライメントするためのアライメントモデルもあり、最大1ナノメートルのフィーチャー登録精度で高精度なアライメントが可能です。アライメント装置は、さまざまなプローブと検出器を使用して、イメージング基板とLEDアレイの位置をx-y-z方向に測定し、レジストパターン歪みを正確に特徴付けることができます。全体的に、TEL MARK8は、独自の配列LEDコリメーションユニットとデジタル画像投影モジュールを備えたマスクレスリソグラフィーアプリケーション向けの高度なシステムで、最大1ナノメートルの極めて高い露光精度を備えています。正確なパターンや構造の作成において高い精度と精度を必要とするナノテクノロジーのアプリケーションに最適です。