中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098397 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造のリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。ウエハー上のレジスト材の薄膜層をパターン化するために使用され、その結果、基板上に人工的に作成されたマスクが発生します。フォトレジストシステムは、ウェル、パターンまたはグリッドをウェハ上に正確に配置することができ、非常に正確な機能やデバイスの生産を可能にします。TEL MARK8は高速スキャンオプティクスユニットとフルサーボ制御を備えており、非常に正確な機能配置が可能です。また、エリアキースキャン機能を備えており、歪みを発生させることなく、ウェーハ上のパターンを正確にトレースすることができます。また、拡大画像用の高解像度フォトレンズを搭載しています。フォトレジストマシンには、20µm分解能までの水平スキャン、1µm分解能までの垂直スキャンを可能にする高度なフォトリソグラフィーツールが装備されています。機械はまたsub-nC/cm2から複数のmC/cm2まで及ぶ露出線量の範囲を扱うことができます。マルチパターン露出を容易にする統合ブロードキャストアセットを備えています。また、IDパターン認識モデルが内蔵されており、機械がパターンを自動的に識別することができます。東京エレクトロンMARK-8フォトレジスト装置には、ウェーハを保持するウェーハチャッキングシステムが搭載されており、エッチング工程の精度と精度を確保しています。また、1つのウエハ上でマルチレベルのエッチング処理を行うことができるため、複雑な電子機器の製造に適しています。さらに、このマシンはユーザーにリモート診断ツールへのアクセスを提供し、リモートからプロセスを監視し、必要に応じて必要な調整を行うことができます。また、ウェーハの露出を容易にするために、180µmまで回転することができる回転基板ステージを備えています。東京電子MARK8フォトレジストツールは、多目的で正確で信頼性の高い集積回路やその他のエレクトロニクス用途の製造手段を提供します。正確で正確なリソグラフィ結果をお探しの方に最適なツールです。