中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098395 を販売中
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ID: 9098395
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(2) Coaters / (1) Developer System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipmentは、幅広い光化学的ニーズに対応するために設計された、費用対効果の高い汎用性の高いエッチングシステムです。集積回路、ディスプレイ、その他のマイクロ部品関連の製造プロセス、誘電体フィルム、金属電極、およびその他のフォトレジスト材料アプリケーションの製造に最適なソリューションです。TEL MARK8はユーザーフレンドリーで直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、プログラミングと結果のモニタリングを迅速かつ簡単に行うことができます。さらに、東京エレクトロンマーク8の効率的で産業用グレードの電動プラットフォームと堅牢な機械構造により、生産性と一貫した信頼性が向上します。Mark 8は、高度なパワーコントロールと高度なDCエッチング技術を使用して、正確で反復可能な結果を提供します。低解像度(LR)と高解像度(HR)の2つのイメージングモードがあります。どちらのモードも、アスペクト比の高いDCエッチングに高品質のパターニングを提供するように設計されています。高精度の切断には、コンピュータ制御の双方向ダイシング技術も利用できます。TEL MARK-8には精密光学アライメントユニットが装備されており、シャープで正確な画像が作成されます。その真空互換性のあるチャンバーは、温度や大気の広い範囲で使用することができます。さらに、このマシンには、レジストをほこりや大気汚染物質から保護する通気シールドが付属しており、よりクリーンなエッチング結果を保証します。このツールはエッチング基板の高いスループットを備えており、使用するレジストの種類を変更するプロセスを簡素化するレジストリフィルアセットを備えています。自動抵抗調整機能は、抵抗の種類の違いを補償します。このモデルは、1時間あたりの加工基板の増加と高速な結果を保証するために設計されており、ユーザーは歩留まりを最大化し、コスト効率を向上させることができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK8には、さまざまな独自のソフトウェアと機器制御スイートが付属しており、ユーザーはプロセスのニーズに応じて操作パラメータを監視、調整、変更することができます。Tool Assistantなど、いくつかのCDSベースのソフトウェアアプリケーションがパターン検査や修正に使用できます。また、ユーザー定義のレシピ設定やライブラリデータのインポート/エクスポートもサポートし、柔軟性を高めています。東京エレクトロンマーク8フォトレジストユニット(TEL)は、高度な機能、産業レベルの信頼性、精度、費用対効果を備え、フォトレジスト材料用途に非常に便利なソリューションです。
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