中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098391 を販売中
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ID: 9098391
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
(1) Coater / (1) Developer System, 6"
(1) Scr
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体製造の精度向上を目的とした革新的なフォトレジスト機器です。このシステムは、より複雑な設計や構造の開発を可能にする正確な精度のための自動露出制御と高度なレーザー技術を使用しています。TEL MARK8は、露出チャンバーを自動化したドライエッチングユニットです。このソリューションは、最大8つのステッパーをサポートし、高精度の半導体生産のための複雑なプロセスの作成を可能にします。TOKYO ELECTRON MARK-8は、ステッパー、フォトレジスト、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)、チャンバーなどの部品を含む完全な機械として販売されています。PLCは、エッチング処理中にプロセスの最適化を含むすべてのイベントを制御します。このツールは、パターン認識、露出評価、プロセスパラメータ最適化など、プロセスの精度と精度を高めるためのさまざまな機能を提供します。この資産のフォトレジストは、エッチングパターンの精度と品質が一貫して高いことを保証するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8は、高品質レンズや精密ビーム配送機器などのハイエンド光学モデルにより、極めて高いCD(臨界寸法)制御を実現しています。使用されているフォトレジストは、大きな露出領域の高精度、均一性の向上、および高解像度の解像度を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8にはプログラマブルロジックコントローラ(PLC)も搭載しており、エッチングプロセスの精度と速度を向上させます。PLCは、エッチングプロセスのリアルタイム制御を維持することができ、特定のアプリケーション要件を満たすようにプログラムすることができます。フォトレジストとPLCの間で交換されたプロファイル情報により、コントローラはプロセスパラメータを調整し、エッチングプロセスに悪影響を及ぼす可能性のある領域を特定できます。さらに、Mark 8は既存の生産ラインに統合されるように設計されており、既存の製品に活用することができます。このシステムは高速動作用にも設計されており、1時間に最大20個のウェーハをエッチングすることができます。その結果、高精度デバイスの製造をサポートする効率的で費用対効果の高いエッチングソリューションが得られます。TEL MARK-8は全体的に、半導体生産のためのより高い精度と精度を提供する高性能フォトレジストユニットです。このマシンは、露出チャンバー、フォトレジスト、PLC、ステッパーを含む統合ソリューションを提供し、高度なエッチングを可能にします。さまざまな用途に適しており、高速生産ソリューションを提供しています。
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