中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 （TM8）は、リソグラフィ工程での使用を想定したフォトレジスト装置です。フォトレジストは光に敏感なポリマーの一種です。TM8は光源を利用して基板上にパターンを露出させ、レジスト層を目的の領域に堆積させます。TM8は、1ミクロン以下の精度と再現性で自動処理が可能な高度な設計を利用した自動パターニングシステムです。このユニットは、3つのステージパターニング（露出前、露出後、露出後）を利用しています。前露ステージには、ステージムーブメントマシンを使用して、ウェーハをカセットからツール内のアライメントユニットに移動させます。アライメント・アセットはレーザーを使用して、露出プロセスのためのウェーハの正確な位置決めを保証します。露光ステージは、基板上に光源を投影する役割を担っています。このTM8は、高強度UV照明エミッタを使用して、高いスループットの結果とアライメント精度でウェーハをパターン化します。フォトレジストは露出プロセスの前に加えられ、ライトは望ましい区域の抵抗材料を活動化させます。露出後の段階は、フォトレジスト層を乾燥させるために使用されるベーキングモデルで構成されています。ベーキング装置はまた層に硬度を提供します。その後、レジストはさらにプロセスステップに登録されます。全体的に、TEL MARK8は、フォトリソグラフィ用途に強力で正確なパターニングを提供するために設計された強力なフォトレジストシステムです。自動化された機能により、迅速で信頼性の高い露出プロセスを提供し、繰り返し可能で正確な結果を提供します。TM8は、直径300mmまでのウェーハに対応できます。このTM8は、半導体メーカーや集積回路製造設備にとって費用対効果の高いツールです。