中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098389 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、高精度・高生産性半導体製造のドライプロセスを向上させるフォトレジスト装置です。このシステムはTELが開発したもので、サイクルタイムを短縮した高性能デバイスやコンポーネントの需要の増加に対応しています。TEL MARK8は、高性能フォトレジストプロセスを実現するために設計された、多くの高度な機能と機能を備えています。このユニットには、高度なレーザー書き込み機が装備されており、パターニング精度の向上とプロセスの再現性の向上を実現しています。自動パターニングツールは、ガラス、シリコン、石英など、さまざまな基板で正確なパターニングを保証します。東京エレクトロンMARK-8は、サブミクロンやナノスケールの超高解像度イメージングをサポートしながら、オーバーレイ精度と均一性を向上させる高度なアライメントツールも搭載しています。MARK-8は、さまざまなフォトレジストプロセスを最適化するために設計されたさまざまなプロセスレシピとパラメーターを提供しています。このアセットは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを使用してセットアップおよび操作でき、ワークフローを簡素化および改善するためのさまざまな自動機能を提供します。TEL Mark 8には、汚染のないウェハハンドリング機能も豊富に搭載し、生産性の向上を図っています。TEL MARK-8は、優れたウエハレベルのプロセスを提供するように設計されており、高精度で反復可能なパターニング機能を提供します。その高度なオートメーション機能により、さまざまなアプリケーションのスループットと柔軟性が向上します。汎用性と高度なレーザーリソグラフィ機能を備えた東京エレクトロンMARK8は、小型フィーチャーサイズから高アスペクト比デバイスまで、幅広いパターニング要件に対応できます。TOKYO ELECTRON MARK 8は、優れた反復可能なフォトレジスト加工を実現する先進モデルです。高度な自動化機能とスループットの向上により、この装置は大量の製造および開発アプリケーションに最適です。その汎用性の高いレーザーリソグラフィーシステムは、さまざまなパターン要件をサポートすることができ、さまざまな業界やアプリケーションに適しています。