中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098385 を販売中
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ID: 9098385
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Coarter / (3) Developer system, 8"
6 HP
(4) CP
WEE
(4) 2-1 RRC
EBR Stepping
E2
Komatsu
THC
C/B
I/F
LtR
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、先進的な半導体デバイス処理用に設計された全自動フォトレジスト装置です。リソグラフィ、フォトリソグラフィ、ウェハクリーニング、その他フォトマスク加工などの用途に適しています。光学アームとCCDカメラを全自動で搭載し、フォーカス調整とフォトレジスト面への整列により露光パラメータを正確に制御します。高解像度デジタルカメラを搭載し、複数の位置でフォトマスクのイメージング性能を測定します。さらに、このユニットにはカスタムのスキャン穀物サイズ制御マシンがあり、さまざまなタイプのフォトマスクでデバイス処理を成功させることができます。このツールは、プロセス制御と一貫性を備えた高度な半導体デバイス処理用に設計されています。実験を素早くセットアップしたり、パラメータを調整したり、進行をモニタリングするためのユーザーフレンドリーな制御インターフェイスを備えています。さらに、この資産には、最適なパフォーマンスを確保するための予測メンテナンスを実行するための統計的品質管理モデルがあります。TEL MARK8フォトレジスト装置は、プロセスの歩留まりを確保し、フォトマスクの寿命を延ばすために、高い露出均一性と垂直方向に整列した結果を提供します。さらに、すべてのフォトレジストとの互換性により、最大限の柔軟性が確保され、ユーザーは幅広い基板や材料を処理することができます。さらに、低圧、低真空処理能力により、基板やフォトマスクの損傷リスクを最小限に抑え、安全かつ効率的な動作を実現します。結論として、東京電子MARK-8フォトレジストシステムは、高度な半導体デバイス処理用に設計されています。高レベルの露出均一性と露出制御を提供し、プロセスの歩留まりとフォトマスクの寿命を確保します。そのユーザーフレンドリーなインターフェイス、すべてのフォトレジストとの互換性、および低圧、低真空処理は、安全で効率的な操作を提供します。
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