中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098384 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体加工用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。エッチングと蒸着が可能であり、ポジティブおよびネガティブレジストパターニングプロセスも可能です。フォトレジストは、シリコンウェーハ上に正確に定義された形状のデバイスアーキテクチャを製造できるため、集積回路（IC）製造に不可欠です。TEL MARK8は最先端のイメージングとパターニングシステムを備えています。その生産は、スピンコーターと一緒に高効率の蒸発器を採用しています。蒸発プロセスにより、正確な温度および蒸着制御が可能になり、スピンコーターは均一で一貫したレジストコーティングを提供します。また、ウェーハの搬送・取り扱いを自動化する先進的なステージマシンや、アクティブエッチング剤の強度を調節する調整可能なバイポーラ電源を搭載しています。この精度により、最も深い井戸に材料をエッチングして堆積させることができます。このツールはまた、最先端の光学系のために1ミクロンの高解像度を持っています。この機能により、ウェーハ上の正確な形状と形状が保証されます。また、東京エレクトロンMARK-8は、微粒子や加工中の高性能フィルムを生成する優れたスパッタリングレート制御アセットを内蔵しています。これにより、妥協のない層間接着で高密度パターンを効果的に生成します。東京電子MARK8は高度および頑丈な適用のために特に設計されています。それは0。5 μ mの正確さのレベルの50 nmまでパターンを製造できます。自動化されたウエハハンドリング機能と正確に調整可能なバイポーラ電源により、高精度の半導体の大量生産に非常に適しています。さらに、優れたスパッタリングレート制御により、最も繊細な基板上にディープエッチングフィルムや形状を効果的に生成することができます。Mark 8は、精度、精度、スループットの優れた組み合わせにより、最も要求の厳しい半導体製造ニーズに合わせて設計されたトップエンドのフォトレジストモデルです。