中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098383 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体ウェーハ上に精密微小回路を作成するフォトレジスト加工装置です。半導体チップ上の非常に小さなデバイスをパターン化するために使用されるフォトレジスト層の露出、拡散、エッチングを正確に制御できます。TEL MARK8は、フォトレジストのフィルムを紫外線にさらしてフォトレジストの形状を形成するために使用されるライトマスクで構成されています。これに続いて2つの拡散炉があり、露出したフィルムを調理して保護されていない領域を溶解させ、望ましいパターンを作成します。東京電子MARK-8には、基板にパターンをエッチングするための2つのシステムも含まれています。1つ目は、一般的にコンタクトパッドやその他の深い電気構造を作成するために使用されるディープトレンチのエッチングを可能にします。2番目はフォトレジストのフィルムそのものをエッチングし、望ましい場所に基板を露出させます。フォトレジストシステムの他の特徴は、沈着に抵抗する前に粒子を除去するための化学的および機械的スクラビングユニット、脱イオン化された水浴、および処理後のデバイスパターンを検査するための2つのユニットです。1つ目は、ユーザーが高倍率でパターンを調べることができる顕微鏡アタッチメントで、2つ目は、デバイス全体に電圧を投げて正しく機能することを確認する電気テスターです。MARK8は、露出、拡散、エッチングを厳密に制御し、精密な微小回路デバイスを作成することができる包括的なフォトレジスト加工機です。このツールは、世界中の最新のチップ製造プラントの重要なコンポーネントであり、その信頼性と精度は、高品質の半導体コンポーネントを作成するために不可欠です。