中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098381 を販売中
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ID: 9098381
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
5HP
2DHP
6CP
1AD
1WDS
1WEE
2-1 RRC x2
2-2 RRC x2
EBR cylinder
E2
9801F
LtR
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8フォトレジスト装置は、半導体・プリント基板製造、プラスチック・セラミックスの微細加工、プラズマエッチングなど幅広い分野で使用されるエッチング装置です。このシステムは、特定のエッチング工程でマスクを必要とする表面に選択的に適用してパターン化することができる感光性ポリマーである高度なフォトレジスト材料を利用しています。光学リソグラフィック技術は、線画の形でフォトレジスト材料の選択的な堆積を可能にします。露光時にフォトレジスト材料は化学反応を起こし、その結果、露出した領域の物質のより厚い領域になります。マスクが形成されると、デバイスは変更された化学溶液に置かれ、そこで腐食剤がデバイス基板に選択的に適用されます。このプロセスは、フォトレジスト材料の正確な配置により、非常に精密で詳細なパターンを生成することができます。さらに、エッチング処理はローカライズされ、非常に高速です。TEL MARK8ユニットは、従来のケミカルエッチング技術に比べ、光学リソグラフィに優れた精度と速度を提供することが実証されています。フォトレジスト材料の高精度かつ均一な成膜と局所エッチング制御を可能にし、信頼性と再現性の高いエッチング結果をもたらします。TOKYO ELECTRON MARK-8も柔軟性が高く、パターンの解像度やサイズに応じて様々なエッチング機能を提供します。マーク8マシンは、エッチング処理中にリリースされた腐食性材料のプルームからユーザーを保護するように設計されている優れた安全機能でも知られています。このツールにはデジタルビデオモニターが装備されており、ユーザーのフィードバックを提供して、ユーザーがエッチングプロセスに正しく安全に従うことを保証します。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8はメンテナンス設計が低く、効率化とコスト削減にもつながります。全体的MARK-8、フォトレジスト資産は、精密エッチングプロセスに卓越した精度と速度を提供します。これは信頼性が高く、安全で費用対効果が高く、多くの業界で望ましい選択肢となっています。
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