中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9090357 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体業界でパターニング集積回路に使用されるフォトレジスト機器です。これは、さまざまなレジストを堆積、露出、開発することができる完全に自動化されたシステムです。TEL MARK8は、レジストなどの模様を収納するチャンバーです。このチャンバーは、パターン処理中にウェーハを保持するウェーハステージに接続されています。レジストと材料は、垂直インジェクタユニットを介してチャンバーに導入されます。その後、平坦な蒸着プロセスを使用してウェーハ表面に分布します。材料は、必要に応じてスピンコーティング法を使用して配布することもできます。レジストやその他の材料がウェーハ上に配置されると、東京エレクトロンMARK-8はフォトレジストパターニング処理を開始する準備が整いました。このプロセスは、ウエハを紫外線光源にさらすことから始まります。光源の強度は調節可能であり、ウェーハ表面に異なるパターンを作成することができます。露出は単体で行うことも、複数の露出を組み合わせてより複雑なパターンを形成することもできます。露出後、レジストは溶液の助けを借りて開発され、必要に応じて溶媒を使用してウェーハ表面の残留物を除去することができます。これは、MARK8によって作成された正確なパターンを残します。TEL Mark 8で作成したパターンは、効率的な集積回路デバイスを作成するために使用できます。TOKYO ELECTRON MARK8は信頼性が高く精密な機械であり、使いやすくメンテナンスも容易で、半導体メーカーにとって魅力的な選択肢です。多種多様なレジストや材料で動作し、高度な集積回路の作成に適した複雑なパターンを作成することができます。