中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293761366 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、半導体層形成・デバイス加工用のフォトレジスト機器です。TEL MARK8は、コンピュータ制御のシステムを使用して、フォトレジストおよび層形成プロセスの光露光を最適化します。このユニットは、光源、フォトレジストおよび光露光制御、層形成およびウェーハアライメント用の光学機械、およびツールからウェーハをロードおよびアンロードするための自動カセットツーカセットハンドラを統合しています。東京エレクトロンMARK-8の光源は、低照度から高輝度まで幅広い光度を提供することができ、ウェーハ光の露出を正確に制御することができます。また、レイヤーフォーミング用の光学アセットもユニットに組み込まれています。このモデルは、高解像度のステージイメージングカメラを使用して、ウェーハを層の形成ダイセットに検出および整列させます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8のCassette-to-Cassetteハンドラーは、ほとんどの標準サイズをサポートすることにより、機器からウェーハを自動的にロードおよびアンロードすることができます。また、TEL Mark 8には、ウェーハ上の光の露出パターンを正確に制御できるAdvanced Light Exposure Controlが搭載されています。このAdvanced Light Exposure Controlは、MARK8システム自体に統合されており、各ダイの光強度と露光時間を予測可能にします。また、リアルタイムのデータ取得と表示機能を備えたプロセスモニタリングユニットを備えており、必要に応じて機械の光露出パラメータをオンザフライで調整できます。要するに、MARK-8は、高品質の半導体デバイスを製造するために、層の形成とデバイス製造プロセスを正確に制御できる信頼性の高い効率的なフォトレジストツールです。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8では、先進的な光露光制御、ウェーハアライメントの光学アセット、自動カセットツーカセットハンドラにより、最高レベルの精度とスピードを実現しています。