中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293751439 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、多層ウエハ製造用に設計されたフォトレジストです。このシステムは、最新のプロジェクションオプティクスとプログラムビームデノイズ技術を使用した3軸アライメントステージに基づいています。TEL MARK8は高度に構成可能なユニットで、1銀行あたり32システムまで対応できます。マルチレベルチャネリングシステムを採用した東京エレクトロンMARK-8は、複雑なアプリケーションやプロセスに柔軟なウェーハ管理を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8は、フルパターンレジスト、PRマスク、エッチングレジスト用途にオートマスキングとプレートカセットを採用しています。このツールの高電圧電源、統合されたステッピングモータとフィルターコントローラは、トップレベルのアプリケーションとプロセスの安定性を促進します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8は、次世代のリソグラフィ用途におけるラピッドプロトタイピングと高速生産の課題に対応するよう設計されています。アセットは、優れた投影、解像度、パターンの再現性を達成するために、最先端の光学、プロセス制御、プログラミング技術を利用しています。MARK-8は、光管理の設計において非常に効率的であり、別々の露光チャンバとレーザーダイオードを備えているため、露光時間を短縮し、優れた画質を提供することができます。また、専用のビームデノイジングフィルタを採用しており、歪みを最小限に抑えながらパターンの忠実度を高めています。TEL Mark 8には、自動ギャップ認識装置、自動比較システム、安全モニターなど、さまざまな安全機能が搭載されています。安全モニターは、ユニットが所望の動作ウィンドウで動作していることを保証し、故障状態や過剰な粒子放出が検出された場合はシャットオフします。Mark 8は、1台のカートリッジで1台につき最大8つのタスクと最大4つのタスクに構成可能なプラットフォームを提供します。これらの機能により、このツールは比類のないレベルのプロセス効率と再現性を提供するように設計されており、次世代のリソグラフィの要求を満たすための理想的なプラットフォームを提供します。