中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293690383 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8は、TEL Limitedが開発したフォトレジスト機器で、半導体製造の分野で主にウェハ加工に使用されています。ウェーハコーティング、ウェーハ開発、エッチングなど、幅広いフォトレジスト加工に対応できる総合システムです。TEL MARK8は、ダイレクトドライブ「キネマティクスドリブン」コーティングロータを搭載し、高精度、低欠陥、高プロセス歩留まりを実現しています。コーティングロータの動きは、正確で安定したプロセスのためのキネマティックなアクティブポジショニング機構を備えた高速、高効率、高安定性のダイレクトドライブモータによって制御されます。オンボード温度レベル監視により、高品質で信頼性の高い操作が保証されます。高度なウエハハンドリング機能を搭載し、実際のプロセスの均一性を最適化します。このマシンは、伝統的なウェーハタイプや特殊なウェーハタイプなど、さまざまなウェーハサイズを提供し、また、お客様のユニークなニーズに対応するための多方向レイアウトをサポートしています。TOKYO ELECTRON MARK-8は、精密に制御された最適化されたプロセスパラメータを使用し、± 1 μ mの精度でフォトレジストを処理します。その高度なアルゴリズムベースの制御技術は、長期的な実行にわたって安定した処理品質と均一性を維持するのに役立ちます。このツールは、センサー制御の光学系と駆動位置制御を使用して、ウェーハ全体に一貫したフラットな光学フィルムを確保します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK8は、直感的に操作できるユーザーインターフェースも提供しています。操作を大幅に簡素化し、ワンボタン処理が可能な「レシピ」タイプの操作で、使いやすいメニューやグラフィックを誇ります。高度に自動化された操作は、安全資産によってさらにサポートされ、潜在的な安全上の危険を特定し、安全で安全で安定した作業環境を確保するのに役立ちます。MARK-8は、接触抵抗メッキ、バンピング、薄膜成膜などの高度な半導体加工アプリケーションに最適なソリューションです。その低欠損率と高精度により、高度な半導体部品の製造において信頼性の高い選択肢となります。このように、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8は、業界で最も先進的で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。
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